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气浮XY平台

为了达到卓越的平滑运动与定位精度,此系统动力输出部分采用我司零齿槽力的无铁芯直线电机。在结构方面,横梁采用高刚性与轻重量并存的铝合金材料,下轴采用两侧对称的动力输出,双反馈的设计(龙门控制),可提供双倍 推力输出与定位补偿功能。

此平台采用无机械式导轨的设计,不需要任何润滑装置和润滑油,为洁净室等级应用提供了更好的解决方案。


特性

应用


气浮导轨,大推力无铁芯直线电机

免维护,零齿槽,合适洁净室应用

高精度,高速动态响应

可实现偏摆角控制,不易受环境温度影响

可集成主动或被动隔震系统


半导体设备

晶圆加工检测设备

面板加工设备

光学设备

精密扫描测量设备


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