适用视觉对准工艺，例如半导体和液晶相关制造设备的对准工艺，以及测量设备和仪器的定位机构。
特性
• 直驱技术 • 超薄，紧凑 • 内置交叉滚子轴承，具有出色的精度和刚性 • 零齿槽，零背隙和零静态误差
• 滑动体质量轻，具有高相应性 • 集成高精度线性编码器 • 高可靠性 • 扩展性强
